Kw-4a匀胶机有一个或多个滴胶系统,可涂不同品种的光刻胶。滴胶的方式有晶片静止或旋转滴胶。随着晶片尺寸的增大,出现了多点滴胶或胶口移动式滴胶。胶膜厚度一般在500-1000nm,同一晶片和片与片间的误差小于±5nm。滴胶泵有波纹管式和薄膜式两种,并有流量计进行恒量控制。对涂过胶的晶片有上下刮边功能,去掉晶片正反面多余的光刻胶。
Kw-4a匀胶机特点。
(1)旋转速度
转速的快慢和控制精度直接关系到旋涂层的厚度控制和膜层均匀性。如果标示的转速和电机的实际转速误差很大,对于要求精密涂覆的科研人员来说是无法获得准确的实验数据的。目前转速控制方面有国际认定标准,如美国NIST标准等。
(2)真空吸附系统
真空泵一般采用无油泵,即通常说的干泵,因为任何的油污都可能堵塞真空管道,如果真空吸附力降低,会导致基片吸附不住而产生"飞片"的情况,还会让滴的胶液不慎进入真空管道系统造成完全堵塞。有的匀胶机通过联动机制,当真空吸附力不够时不会开始旋转。这样可有效避免滴的胶液不慎进入真空管道系统。
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